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半导体行业

2019-06-19
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半导体行业
详细介绍:

YI、DUIBANDAOTIXINGYEDELEJIE

188体育BANDAOTISHIZHIYIZHONGDAODIANXINGKESHOUKONGZHI、CHANGWENXIADAODIANXINGNENGJIEYUDAOTIYUJUEYUANTIZHIJIANDECAILIAO,SHIZHIZAOJISUANJI,XIAOFEIDIANZIYIJITONGXINSHEBEIDENGGELEIXINXIJISHUCHANPINDEJIBENBUJIAN。BANDAOTIXINGYE,LISHUDIANZIXINXICHANYE,SHUYUYINGJIANCHANYE,YIBANDAOTIWEIJICHUERFAZHANQILAIDEYIGECHANYE,XINXISHIDAIDEJICHU。BANDAOTIXINGYESHIXIANDAIKEJIDEXIANGZHENG,JINGJIDEZHONGYAOZHIZHU。

ER、BANDAOTIXINGYEDETEDIAN

BANDAOTIXINGYEBEICHENGWEIXIANZAIGONGYEDE“TUJINJI”,BANDAOTIDEYINGYONGFEICHANGGUANGFAN,KEYIZUOWEI“XUNHAOFANGDAQI /ZHENGLIUQI”、GUANGDIANCHI、YEKEYIYONGLAICESHIWENDU。ZAIDIANZIGONGYEHEGAOJISHULINGYUZHONGSHIBUKEQUESHAODECAILIAO。

三、半导体行业所产生的污染

半导体行业制造过程中只用的化学品近百种,采用工艺调查和现场监测相结合的方法,共检测出26种有机污染物,其中以异丙醇排量大,其中毒性较大的为苯、甲苯、二甲苯、四氢呋喃、四氯化碳,氯乙烷、苯乙烯等,对人体和环境会带来很大的伤害。见表一

数据表

SI、ZHILIGAIXINGYEVOCsDEJIANSHU

VOCs是半导体行业的特征污染物,在目前只在上海市出台了《上海市半导体行业污染物排放标准》,但对具体的单个有机污染物的标准未包括在内。所以需要督促企业进行治理,减少排放。对于高浓度、高质量的VOCs我们可以回收再利用。比如济南鑫盛源涂装设备有限公司经多年研发出的沸石浓缩转轮,就可以实现回收这些VOCs。利用沸石浓缩转轮吸附废气中的有机溶剂,使废气的净化效率达到98%以上,达到排放标准。目前催化燃烧厂家188体育鑫盛源已为多家企业制定了适合的解决方案,都已达到《上海市半导体行业污染物排放标准》。见表二


案例图

WU、GAIZHILIGONGYIDETEDIAN

吸附回收技术,可以降低溶剂提纯费用,并提高设备安全性,采用沸石转轮浓缩低浓度高风量的VOCs,然后再进行冷凝回收,再催化燃烧或高温焚烧处理。实现回收再利用的技术。

LIU、ZONGJIE

ZAICUIHUARANSHAOCHANGJIAXINSHENGYUANKANLAI,FEISHIZHUANLUNZUOWEIMUQIANJIAOWEIYOUXIAOHEQUANBUDEVOCsZHILIJISHU,YINGDEDAODALIANGDEYINGYONG,SHIQIYEDADAOHUANBAOBIAOZHUN。DAJIAYIQILAIBAOHUDIQIU,CANYUHUANBAO。

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